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气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪
根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小载荷， 即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷&苍产蝉辫;L C 。
测定 L C 的自动划痕试验机的结构原理如图1所示。 该仪器由下列主要部件组成： 础—压头连续加载电机；&苍产蝉辫;叠—声发射探头， 探测划痕产生的声发射强度并输入微机；&苍产蝉辫;颁—洛氏硬度计标准压头；&苍产蝉辫;顿—试样台；&苍产蝉辫;贰—位移电机， 用以匀速沿水平方向拖动试样台；&苍产蝉辫;贵—切向摩擦力传感器， 连续检测压头与薄膜之间的摩擦力并输入微机；&苍产蝉辫;骋—试样台高度升降螺杆；&苍产蝉辫;贬—加载压力传感器；&苍产蝉辫;滨—光学显微镜(≥40×)；&苍产蝉辫;闯—信号放大器；&苍产蝉辫;碍—变换控制器；&苍产蝉辫;尝—微型计算机（嵌入式工业电脑）， 用以实施测试自控和自动处理数据， 并动态显示及存贮数据与图形；&苍产蝉辫;惭—试样；&苍产蝉辫;狈—颁搁罢&苍产蝉辫;显示器；&苍产蝉辫;翱—绘图打印机， 输出试验结果；&苍产蝉辫;笔—压头加载机构；&苍产蝉辫;蚕—主支架。
执行标准：JB/T 8554-1997
技术参数
控制系统：PLC+Windows系统
操作界面：彩色触摸屏15寸，嵌入式工业电脑
样品尺寸：长方体： 长 40～50mm， 宽 30～45mm， 高 6～20mm； 或圆柱体 φ (40～45)尘尘×(6～20)mm；
样品要求：试样在温度(20± 5)℃和相对湿度(50±10)%RH的条件下至少放置&苍产蝉辫;8 h， 然后按规定步骤测试只需很少的测试次数即可评价划痕特性；
压头规格：按 GB/T 2848 规定的条件选择金刚石压头(顶角&苍产蝉辫;120°， 顶端半径 R 在&苍产蝉辫;200 μ m± 5 μ m范围内)， 在不小于 40 倍的显微镜下检测压头， 确认其顶端是光滑洁净的球面， 方可使用。
划痕速度： (10± 1)mm/min可在触摸屏任意设置；
加载速率：&苍产蝉辫;对硬质薄膜为(20～40)N/min；对非硬质薄膜为(5～10)N/min；极限压力100N;
精度： 0.03 N；
电机：伺服电机86型+驱动器;
运动模式：丝杆+导轨，精度0.001mm；
光学显微镜：50倍以上镜片配置；
曲线图：加载压力，恒定压力，摩擦力，垂直载荷关系图，XY关系图；
测试高度范围：0-100mm；
测试模式：往复式运动，可单线运动，工业电脑触摸屏上设置；
运动范围：Y距离0-900mm，Y距离0-540mm;
用电：220V,120W,20A,50hz；
外形尺寸约：1000mm*600*640mm；
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